近日，国内首个实现8英寸MEMS晶圆量产的生产线——安徽华鑫微纳8英寸MEMS晶圆全自动生产线投产运行。该项目半导体厂房专属通风系统由嘉定企业英飞同仁风机股份有限公司量身打造，精准满足高端半导体智造的严苛环境标准，如同会呼吸的“肺”，为国产MEMS芯片生产保驾护航。
效果图
据悉，该项目总投资50.6亿元，已建成8.7万平方米的智能化厂房，量产惯性传感器、压力传感器、光MEMS器件等核心产品。其中，半导体厂房对生产环境的洁净度、稳定性、安全性、降噪性有着行业极致严苛的标准，通风系统作为厂房环境调控的核心配套，直接决定生产线良品率与生产安全，是该项目建设的核心难点。
对此，英飞同仁针对MEMS芯片制造的特殊工况与专属需求，量身匹配定制化通风解决方案，搭载最新自主研发的防爆型管道离心风机、边墙轴流排风机、箱式离心风机等多款自研专用设备，全方位适配半导体厂房不同功能区域的通风刚需，精准解决高端智造场景的通风净化、防爆降噪、稳定排风等难题。
“半导体晶圆生产对环境精度要求极高，隐蔽在厂房各处的通风设备，就像是人呼吸时候的‘肺’，每一处气流调控都容不得半点偏差。”英飞同仁总裁张劲戈介绍，主力应用的YFISQ管道离心风机搭载有“翔欣”五代后倾离心叶轮，好比风机的“动力心脏”，可有效减少空气紊流、降低运行噪音。同时，方形无蜗壳结构机身小巧、重量轻便，兼顾高效运行与长期稳定性能，可适配半导体厂房持续作业需求。
“未来，企业将持续迭代升级定制化通风解决方案，以更优质的产品品质、更完善的服务体系，赋能半导体产业智能化、绿色化、自主化升级，共创高端绿色智造新未来。”张劲戈表示。
通讯员：毛佳凯
编辑：杨玉洁
