近日，嘉定企业上海乾曜光学科技有限公司携最新自主研发的多款主力新品集中亮相2026长春国际光电博览会，现场展出包括环形光源激光干涉仪、素绘FHD XL310、素绘HD VWS150激光干涉仪工作站、CarrierFiz菲索型瞬态激光干涉仪等多款核心设备，全方位展示企业在精密光学测量领域的硬核创新实力。
据介绍，素绘FHD XL310激光干涉仪如同精密光学检测领域的“尺子”，补齐了传统干涉仪量程不足、无法检测大形变工件的行业短板。
在精密光学元件检测领域，如何在不损伤精密工件的前提下，兼顾超大量程、高精度稳定检测，一直是困扰行业多年的技术难题。传统检测设备测量量程有限，针对大平面度、大翘曲度的光学工件、半导体晶圆，不仅检测精度大打折扣，还极易在检测过程中划伤、损耗精密工件，难以实现高效无损检测。同时市面上多数检测设备结构固化、适配性差，面对大尺寸工件检测时稳定性不足，很难满足精密制造的全流程质控需求。
素绘FHDXL310
研发过程中，乾曜光学研发团队面临常规光学结构无法兼顾宽量程与高精度的难题，出现数据偏差等情况。为此，研发团队结合海量工业实测工况反复推演、迭代优化光学结构与算法模型，不断攻克大量程高精度测量、无损检测、结构小型化兼容等诸多技术难点，历经多轮技术攻坚，最终打磨出这款兼顾大量程、高精准、高适配的素绘FHD XL310激光干涉仪。
据介绍，这款素绘FHD XL310激光干涉仪配备310毫米的大口径透光镜头，采用更贴合产品实际使用状态的上置镜头设计，搭配全新光学结构和专用镀膜镜片，把检测范围提升到120微米，能够快速、精准检测各类光学工件、半导体晶圆的平整度和翘曲度，可完全满足生产线在线质检的需求。
“设备分为集成版和单机版两种款式，整体体积小巧、结构紧凑，还配备了优质的减震结构，测量过程稳定精准，不管是实验室精密检测，还是工厂批量生产质检都能轻松适配。”乾曜光学技术总监祝沛介绍。
素绘HD VWS150
素绘HD VWS150激光干涉仪工作站也是展会亮眼的存在。作为企业第二代升级款产品，它堪称工业精密计量领域的“全能检测管家”，针对性补齐初代产品的工况适配与尺寸测量短板，更适配工业化批量精密检测需求。“这款设备升级了整体结构，即便在普通车间、展会环境中，也能保持测量数据的精准与稳定。”祝沛介绍，设备扩容了检测空间，可适配直径300毫米的大型光学镜片及光学系统检测，适用场景更广。同时，该设备搭载了双精准测量模式，可配合智能软件自动分析数据、生成报告，有效提升了光学精密检测的精度与效率。
上海乾曜光学科技有限公司成立于2009年6月，是高新技术企业、上海市科技小巨人（培育）企业、上海市“专精特新”中小企业，长期专注于光学测量仪器的研制。
