上海集成电路产业迎来重要时刻——3月30日,位于临港新片区的积塔半导体特色工艺生产线正式投片。
上海积塔半导体有限公司于2017年11月注册成立,2018年10月吸收香港上市公司上海先进半导体制造股份有限公司,成为中国领先的汽车级电驱IGBT(绝缘栅双极型晶体管)生产厂。目前股东方为华大半导体有限公司和上海集成电路产业投资基金股份有限公司。
位于临港的积塔特色工艺生产线项目,2018年1月正式立项,总投资359亿元,占地面积23万平方米。2018年4月,该项目被认定为上海市重大产业项目,2018年8月正式开工,2019年5月项目主体结构封顶,2019年12月设备搬入。今年初疫情突发,正处于设备密集搬入和组装期的积塔半导体新线项目面临严峻挑战。上海积塔半导体对既定目标丝毫未放松,一手抓防控、一手抓建厂,坚定按照预定节点成功通线投片,为积塔半导体新线实现年内量产奠定了坚实基础。
按照计划,项目一期规划建设月产能6万片8英寸晶圆的0.11μm/0.13μm/0.18μm(微米)工艺生产线,月产能3000片12英寸特色工艺晶圆的55nm/65nm(纳米)工艺先导生产线,以及月产能5000片6英寸晶圆的SiC(碳化硅)化合物半导体生产线,并将在今年实现全面量产。二期工程规划扩建12英寸特色工艺生产线至月产能50000片。
作为上海市重大产业项目,积塔特色工艺生产线建设项目专注于模拟电路及功率器件的制造,支撑工控、汽车、电力、能源等产业发展,全面达产后将成为国内领先的汽车级特色工艺半导体生产线,可进一步完善上海集成电路产业高地布局。